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飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)介绍

发表时间:2014-06-17 11:28

超真空环境下向样品射入1次离子束,从样品的浅表层(1~3nm)释放出2次离子。将2次离子导入飞行时间(TOF型)质谱仪,就可以获得样品最表层的质谱。此时,再通过调低1次离子的照射量,检测保留了表面成分化学结构的分子离子和部分碎片离子,就可以获取最表层的元素构成和化学结构的信息。


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视频1:飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)原理(3D效果)

视频2:飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)精讲

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